Dimethylsilan

Strukturformel
Strukturformel von Dimethylsilan
Allgemeines
Name	Dimethylsilan
Andere Namen	Dimethylsilyldihydrid 2-Silapropan
Summenformel	C2H8Si
Kurzbeschreibung	farbloses Gas mit widerlichem, süßlichen Geruch<ref name="GESTIS">Eintrag zu Dimethylsilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFAVorlage:Abrufdatum (JavaScript erforderlich)</ref>
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer Vorlage:CASRN EG-Nummer 214-184-7 ECHA-InfoCard 100.012.895 PubChem 66185 DrugBank Wikidata [[:d:|]]
Eigenschaften
Molare Masse	60,17 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig<ref name="GESTIS" />
Dichte	2,73 kg·m−3 (bei 0 °C und 1013 mbar)<ref name="GESTIS" /> 0,591 kg·m−3 (bei 1,0 bar und 15 °C)<ref name="GESTIS" /> 0,611 g·cm−3 (am Siedepunkt)<ref name="GESTIS" /> 0,68 g·cm−3 (bei −80 °C)<ref name="GESTIS" />
Schmelzpunkt	−150,2 °C<ref name="GESTIS" />
Siedepunkt	−19,6 °C<ref name="GESTIS" />
Dampfdruck	3,8 bar (20 °C)<ref name="GESTIS" /> 5,1 bar (30 °C)<ref name="GESTIS" /> 8,4 bar (50 °C)<ref name="GESTIS" />
Löslichkeit	hydrolysiert in Wasser<ref name="GESTIS" />
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung<ref name="GESTIS" /> Gefahrensymbol Gefahr H- und P-Sätze H: 220​‐​280 P: 210​‐​377​‐​381​‐​403<ref name="GESTIS" />
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Dimethylsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der siliciumorganischen Verbindungen.

Gewinnung und Darstellung

Dimethylsilan kann in quantitativer Ausbeute durch Umsetzung von Dichlorsilan mit einem Überschuss von gasförmigem Dimethylzink hergestellt werden.<ref name="stock"></ref>

<math>\mathrm{ SiCl_2H_2 + \ 2 \ Zn(CH_3)_2 \ \xrightarrow[]{}\ Si(CH_3)_2H_2 \ + \ 2 \ ClZnCH_3}</math>

Auch durch Reduktion von Dichlordimethylsilan mit einem geeigneten Reduktionsmittel (z. B. Lithiumaluminiumhydrid) kann es gewonnen werden.

Eigenschaften

Dimethylsilan ist ein extrem entzündbares, farbloses Gas mit einem Flammpunkt ≤ −30 °C und einer Zündtemperatur von 205 °C. Es ist schwerer als Luft (relative Gasdichte= 2,11), bildet mit Luft explosive Gemische (untere Explosionsgrenze bei 1,2 Vol.-% bzw. 30 g·m⁻³, obere Explosionsgrenze bei 74 Vol.-% bzw. 1851 g·m⁻³) und kann sich an der Luft selbst entzünden.<ref name="GESTIS" />

Es hydrolysiert in Wasser oder Säuren zu Dimethylsilandiol und Wasserstoff, der sich häufig sofort entzündet. Beim Ausströmen der Flüssigkeit oder beim Entweichen großer Gasmengen bilden sich kalte Nebel, die sich am Boden ausbreiten.

Verwendung

Als Präkursor-Molekül kann Dimethylsilan als Silicium-Quelle für die Abscheidung von Silicium-haltigen Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)<ref name="airliquide">Air Liquide Gas Encyclopedia: Dimethylsilane (Memento vom 8. Juli 2012 im Internet Archive)</ref> eingesetzt werden, die bei der Herstellung von Produkten in der Elektronik- und Photovoltaikindustrie benötigt werden, z. B. für Low-k-Dielektrika.<ref>Qingguo Wu, Karen K. Gleason: Plasma-enhanced chemical vapor deposition of low-k dielectric films using methylsilane, dimethylsilane, and trimethylsilane precursors. In: Journal of Vacuum Science & Technology A. Band 21, Nr. 2, März 2003, S. 388–393, doi:10.1116/1.1539086. </ref>

Einzelnachweise

<references />