Mikrosystemtechnik

Mikroheizung

Die Mikrosystemtechnik (MST, Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:lang“ ist nicht vorhanden.), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen.<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Literatur“ ist nicht vorhanden.</ref> Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.

Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.

Man bezeichnet ein durch die Mikrosystem- oder Mikrotechnik hergestelltes Bauteil oder Gerät auch als Mikrosystem bzw. mikro-elektromechanisches System (MEMS).

Verfahren[Bearbeiten]

In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen.<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Literatur“ ist nicht vorhanden.</ref> Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik, die Bioelektronik, die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.

Studium[Bearbeiten]

Die Mikrosystemtechnik und die Mikrotechnik werden grundsätzlich von Wissenschaftlern und Ingenieuren praktiziert. Es gibt jedoch auch die Ausbildung zum Mikrotechnologen.

Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden.<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Internetquelle“ ist nicht vorhanden. Ehemals im Vorlage:Referrer (nicht mehr online verfügbar);.Vorlage:Toter Link/Core (Seite nicht mehr abrufbar. Suche im Internet Archive)Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden. Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden.</ref> Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung. Ähnliche Studiengänge heißen z. B. Nanotechnologie, NanoEngineering usw.

Preise & Auszeichnungen[Bearbeiten]

Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Siehe auch“ ist nicht vorhanden. Die IEEE Electron Devices Society (EDS) verleiht u. a. den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award für ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS.

Anwendungsbereiche[Bearbeiten]

Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Siehe auch“ ist nicht vorhanden. Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Automobilindustrie<ref>Jessica Mouchegh: Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Internetquelle“ ist nicht vorhanden. In: Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Internetquelle“ ist nicht vorhanden. Hüthig GmbH, Skriptfehler: Ein solches Modul „DateTime“ ist nicht vorhanden.; ehemals im Vorlage:Referrer (nicht mehr online verfügbar);.Vorlage:Toter Link/Core (Seite nicht mehr abrufbar. Suche im Internet Archive)Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden. Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden.</ref>, Elektrotechnik, Informationstechnik, Verkehrstechnik, Hochfrequenztechnik<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Literatur“ ist nicht vorhanden.</ref><ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Literatur“ ist nicht vorhanden.</ref> und Medizintechnik.<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Literatur“ ist nicht vorhanden.</ref>

Wirtschaft & Hersteller[Bearbeiten]

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Verbände & Organisationen[Bearbeiten]

Forschungsfabrik Mikroelektronik (FMD)
- Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz-Instituten FBH und IHP
IEEE Electron Devices Society (EDS)
SEMI MEMS & Sensors Industry Group
Semiconductor Industry Association (SIA), USA
VDI/VDE Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)
- VDE MikroSystemTechnik Kongress<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Internetquelle“ ist nicht vorhanden. VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e. V.; ehemals im Vorlage:Referrer (nicht mehr online verfügbar);.Vorlage:Toter Link/Core (Seite nicht mehr abrufbar. Suche im Internet Archive)Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden. Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden.</ref>
ZVEI Fachverband Electronic Components and Systems

Literatur[Bearbeiten]

Fachartikel[Bearbeiten]

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Fachjournale[Bearbeiten]

Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS),<ref>Skriptfehler: Ein solches Modul „Vorlage:Internetquelle“ ist nicht vorhanden. Ehemals im Vorlage:Referrer (nicht mehr online verfügbar); (Skriptfehler: Ein solches Modul „Multilingual“ ist nicht vorhanden.).Vorlage:Toter Link/Core (Seite nicht mehr abrufbar. Suche im Internet Archive)Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden. Skriptfehler: Ein solches Modul „TemplatePar“ ist nicht vorhanden.</ref> angeboten von IEEE Electron Devices Society
Microsystem Technologies (Skriptfehler: Ein solches Modul „URIutil“ ist nicht vorhanden.), Springer
Micromachines Skriptfehler: Ein solches Modul „URIutil“ ist nicht vorhanden. (MDPI)