Difluorsilan

Strukturformel
[[Hilfe:Cache|Fehler beim Thumbnail-Erstellen]]:
Keile zur Verdeutlichung der Geometrie
Allgemeines
Name	Difluorsilan
Summenformel	SiH2F2
Kurzbeschreibung	farbloses Gas<ref name="William M. Haynes">William M. Haynes: CRC Handbook of Chemistry and Physics, 93rd Edition. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-8050-0, S. 87 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer Vorlage:CASRN ECHA-InfoCard PubChem 123331 DrugBank Wikidata [[:d:|]]
Eigenschaften
Molare Masse	68,10 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig<ref name="William M. Haynes" />
Dichte	2,783 g·l−1<ref name="William M. Haynes" />
Schmelzpunkt	−122 °C<ref name="William M. Haynes" />
Siedepunkt	−77,8 °C<ref name="William M. Haynes" />
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung keine Einstufung verfügbar<ref name="NV">Dieser Stoff wurde in Bezug auf seine Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.</ref>
Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Difluorsilan ist eine anorganische chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

Gewinnung und Darstellung

Difluorsilan kann durch Reaktion von Dichlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.<ref name="C. C. Addison">C. C. Addison: Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements. Royal Society of Chemistry, 1973, ISBN 978-0-85186-752-6, S. 188 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

<math>\mathrm{3 \ SiH_2Cl_2 + 2 \ SbF_3 \longrightarrow 3 \ SiH_2F_2 + 2 \ SbCl_3}</math>

Es entsteht auch neben Trifluorsilan bei der Reaktion von Tetrafluorsilan mit Wasserstoff.<ref>Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry. Academic Press, 1964, ISBN 978-0-08-057855-2, S. 167 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

Eigenschaften

Difluorsilan ist ein farbloses Gas<ref name="William M. Haynes" /> und hat den höchsten Siedepunkt alle Fluorsilane.<ref name="E. A. V. Ebsworth">E. A. V. Ebsworth: Volatile Silicon Compounds International Series of Monographs on Inorganic Chemistry. Elsevier, 2013, ISBN 978-1-4831-8055-7, S. 54 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref> Es zersetzt sich bei Temperaturen ab etwa 450 °C zu SiHF₃, SiF₄ und anderen Verbindungen.<ref name="Theodore M. Besmann">Theodore M. Besmann: Proceedings of the Thirteenth International Conference on Chemical Vapor Deposition. The Electrochemical Society, 1996, ISBN 978-1-56677-155-9, S. 203 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). </ref>

Verwendung

Difluorsilan kann zur Abscheidung von Siliciumnitridfilmen verwendet werden.<ref name="DOI10.1143/JJAP.30.L619">Nobuaki Watanabe, Mamoru Yoshida, Yi-Chao Jiang, Tutomu Nomoto, Ichimatsu Abiko: Preparation of Plasma Chemical Vapor Deposition Silicon Nitride Films from SiH2F2 and NH3 Source Gases. In: Japanese Journal of Applied Physics. 30, 1991, S. L619, doi:10.1143/JJAP.30.L619.</ref>

Einzelnachweise

<references />

Vorlage:Klappleiste/Anfang Monofluorsilan | Difluorsilan | Trifluorsilan | Tetrafluorsilan

Monochlorsilan | Dichlorsilan | Trichlorsilan | Tetrachlorsilan

Monobromsilan | Dibromsilan | Tribromsilan | Tetrabromsilan

Monoiodsilan | Diiodsilan | Triiodsilan | Tetraiodsilan
Vorlage:Klappleiste/Ende